移動(dòng)式等離子清洗系統(tǒng)
型號(hào):MCA
1、采用DownStream設(shè)計(jì),等離子體中不含任何電荷及離子態(tài)物質(zhì),防止對(duì)樣品表面的濺射損傷;
2、ICP誘導(dǎo)激發(fā)等離子體,等離子體量大,且作用范圍廣;
3、可同時(shí)清洗3根透射電鏡樣品桿,支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿;
4、采用Qwk-Switch快接口設(shè)計(jì),等離子發(fā)生器可以直接接入其他真空腔體進(jìn)行在線清洗,一機(jī)多用;
5、清洗功率范圍:10W-99W,樣品清洗艙大?。?英寸(φ)* 7英寸(H);
6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜...